美國API激光干涉儀XD Laser信息

XD Laser的核心優(yōu)勢在于其強(qiáng)大的多自由度同步測量能力，突破了傳統(tǒng)干涉儀單次僅能測量單一參數(shù)的技術(shù)瓶頸。在1D/3D/5D/6D多種配置中，旗艦級6D型號尤為突出——僅需一次安裝，即可同步完成六項(xiàng)關(guān)鍵幾何誤差參數(shù)的檢測，包括線性定位誤差、X/Y雙方向直線度，以及俯仰角、偏擺角和滾動角。這一創(chuàng)新將傳統(tǒng)動輒數(shù)天的檢測流程大幅壓縮至數(shù)小時(shí)，效率提升高達(dá)5倍，時(shí)間節(jié)省超過80%。一體化測量設(shè)計(jì)有效避免了反復(fù)裝調(diào)引入的累積誤差，顯著提升了數(shù)據(jù)的一致性與穩(wěn)定性。

在精度方面，XD Laser：標(biāo)準(zhǔn)型線性測量精度達(dá)0.5 ppm，精密型更可實(shí)現(xiàn)0.2 ppm的超高精度；角度測量分辨率低至0.01角秒。