泰勒霍普森 PGI輪廓儀信息

泰勒霍普森 PGI（Precision Geometric Instrument）系列輪廓儀作為表面計(jì)量領(lǐng)域的性設(shè)備，在微觀形貌與粗糙度測(cè)量領(lǐng)域展現(xiàn)出的技術(shù)前瞻性。該系列產(chǎn)品專(zhuān)為復(fù)雜曲面、自由曲面及精密光學(xué)元件的三維形貌表征而構(gòu)建，其測(cè)量系統(tǒng)架構(gòu)融合了前沿的非接觸式白光干涉技術(shù)與接觸式探針掃描技術(shù)，配合高分辨率 Z 軸光柵傳感器（分辨率達(dá) 0.1nm），可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度的表面微觀特征捕捉，適配半導(dǎo)體晶圓、微創(chuàng)醫(yī)療器械組件、超精密模具型腔及前沿科研實(shí)驗(yàn)室等對(duì)測(cè)量精度要求嚴(yán)苛的應(yīng)用場(chǎng)景。

在核心性能參數(shù)方面，PGI 系列具備 0.01nm 的垂直分辨力與 ±0.1% 的測(cè)量線性度，其動(dòng)態(tài)范圍覆蓋 100:1 至 1,000,000:1，能夠無(wú)縫銜接從超光滑光學(xué)表面（Ra<0.1nm）到高粗糙度工程材料（Ra>100μm）的全量程測(cè)量需求。儀器搭載的智能掃描系統(tǒng)集成了激光自動(dòng)對(duì)焦模塊與自適應(yīng)路徑規(guī)劃算法，可實(shí)現(xiàn)復(fù)雜曲面的三維形貌自動(dòng)采集，測(cè)量重復(fù)性?xún)?yōu)于 0.5%，顯著提升了精密計(jì)量的效率與可靠性。

配套的 TalyMap® 分析軟件采用多尺度分解算法與三維形貌表征模型，全面支持 ISO 4287（線粗糙度）、ISO 25178（面粗糙度）、ASME B46.1 等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，可提供包括輪廓算術(shù)平均偏差（Ra）、均方根偏差（Rq）、表面紋理方向（Str）、峰值密度（Spd）等在內(nèi)的 200 余種表面特征參數(shù)。軟件的三維可視化模塊支持形貌渲染、截面分析、頻率分解等高級(jí)功能，能夠直觀呈現(xiàn)表面微觀結(jié)構(gòu)與宏觀性能的關(guān)聯(lián)性，為精密制造過(guò)程中的質(zhì)量控制與工藝優(yōu)化提供量化依據(jù)。